咨询热线:036-901273071

亚博登录官方网站-MEMS惯性器件发展与应用研究

本文摘要:作者:王茹摘要:近年来,微机电系统惯性器件取得了快速发展,基于微机电系统惯性器件的惯性导航系统逐渐成熟,并得到了更广泛的应用,尤其是在航空航天和军事领域。阐述了微机电惯性器件的特点、发展过程及其在航空航天和军事领域的应用现状。最后,没有讨论微机电惯性器件的未来发展趋势。

亚博登录官方网站

作者:王茹摘要:近年来,微机电系统惯性器件取得了快速发展,基于微机电系统惯性器件的惯性导航系统逐渐成熟,并得到了更广泛的应用,尤其是在航空航天和军事领域。阐述了微机电惯性器件的特点、发展过程及其在航空航天和军事领域的应用现状。最后,没有讨论微机电惯性器件的未来发展趋势。第一章微机电系统[1],全称微机电系统(MEMS),也可称为微机电系统(Micro-mechanical system),是指能够大规模生产的微器件或系统,集微结构、微传感器、微执行器于一体,将信号处理电路、模块、通信、电源等置于其中。

采用微机电系统技术的惯性器件因其优异的特性而被广泛应用于汽车、航空航天、制导炸弹等领域。随着技术的不断进步,微机电系统惯性器件的性能将进一步提高,其应用范围和应用范围最终会扩大。本文阐述了微机电惯性器件的特点、发展过程和应用现状,并探讨了微机电惯性器件的未来发展趋势。

2微机电系统惯性器件的技术特点2.1微机电系统惯性器件的性能特点一般来说,微机电系统惯性器件还包括微加速度计、微陀螺仪和微惯性测量单元(MIMU)[2]。基于微机电系统的惯性器件通常使用硅基材料,并且是在半导体集成电路生产工艺的基础上生产的。它不仅具有体积小、重量重、功耗低的特点,还具有成本低、可靠性高、外部振动和冲击能力强等其他惯性器件无法比拟的优点。尤其是它们的特征尺寸甚至达到微米级,这使得它们构建了传统传感器无法完成的功能。

2.2工作原理MEMS惯性器件的工作原理类似于传统惯性器件,即牛顿定律。通过测量载体的质心运动(加速度)和姿态运动(角速度),可以构建载体的控制和导航系统。与传统惯性器件相比,微机电惯性器件的体积和价格可以降低几个数量级,在国防和军事应用中具有重要意义。

如何利用微机电系统惯性器件构建低成本高性能的微型惯性导航系统已经引起了科研机构的极大关注[3]。


本文关键词:亚博,登录,官方网站,-MEMS,惯性,器件,发展,与,亚博网页登录

本文来源:亚博登录-www.pycsalver.com